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설비 자동화
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사업영역
장비개발
CCSS
Display
Semiconductor
2차 전지
설비 자동화
WET STATION
TRANSFER SYSTEM
CST CLEANER
FMM MASK CLEANER
WET CLEANER
Applications
LCD/OLED 공정에서 유리기판을 세정하는 공정장비
TFT, C/F, CELL LCD, PDP, OLED
Features·Solution Package
EUV, AP, Shower nozzles, HPMJ, Aqua knife, Air knife
Single & Double roll brush
WET DEVELOPER
Applications
LCD/OLED 공정에서 Photolithography Process에 현상(Develop)하는 장비입니다.
TFT, C/F, PDP, OLED
Features·Solution Package
Slit type (TFT)
Oscillation (C/F)
EUV, AP, Shower nozzles, HPMJ, Aqua knife, Air knife
Single & Double roll brush
WET ETCH & STRIP
Applications
ETCH : 유리기판 증착된 금속막 특정부분을 식각하는 장비
STRIP : 식각 공정 후 남아있는 감광액을 제거하는 장비
TFT, PDP, OLED
Features·Solution Package
Oscillation
EUV, AP, Shower nozzles, HPMJ, Aqua knife, Air knife
솔리스(주) | 대표 : 이종필 | 사업자번호 : 147-81-01030
주소 : 충남 천안시 서북구 직산읍 직산로 135-22
Tel : 041-565-2536 | Fax : 070-8777-2536 | E-mail : Solis@solisinc.co.kr
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